Rasterelektronenmikroskopie

Was versteht man unter Rasterelektronenmikroskopie?

Im Rasterelektronenmikroskop (REM) wird mit einem sehr dünnen Elektronenstrahl die Oberfläche zeilenförmig abgetastet (abgerastert). Durch das Auftreffen der Primärelektronen des Elektronenstrahls werden aus der Probe Sekundärelektronen herausgelöst, die von einem Elektronendetektor aufgefangen werden. Nach elektronischer Verstärkung wird die örtliche Verteilung der Sekundärelektronen auf dem Bildschirm wiedergegeben.
Da aus herausragenden Oberflächenteilen viele Sekundärelektronen herausgelöst werden, erscheinen diese Bereiche hell, während tiefer liegende Zonen dunkler bleiben. Verbunden mit einer Schattenbildung, die durch Schrägeinfall des Elektronenstrahls verursacht wird, entsteht so ein plastisches Bild der Oberfläche, des sich durch große Tiefenschärfe und hohe Auflösung auszeichnet.

Das Auflösungsvermögen eines REM beträgt üblicherweise bis ca. 0,01 µm, die Schärfentiefe bei 1000-facher Vergrößerung etwa 35 µm. Die maximal erreichbare Vergrößerung ist abhängig von der Spannung, mit der die Primärelektronen beschleunigen werden.

Die große Schärfentiefe macht das REM besonders geeignet für die Untersuchungen von Bruchflächen (Mikrofraktografie) und sonstigen Schäden, daher wird das REM vor allem für Schadensuntersuchungen eingesetzt.

Des Weiteren lassen sich in, entsprechend ausgestatteten REMs, chemische Analysen mittels EDX-Analyse durchführen. Dabei werden dünne Oberflächenschichten beim Auftreffen hoch beschleunigter Elektronen zur Emission von Röntgenspektren veranlasst, die durch Detektoren ausgewertet wird.

Leistungsspektrum unseres Werkstoffprüflabors

Das Werkstofflabor verfügt über Prüfgeräte / -ausrüstung um Prüfungen im Bereich der Rasterelektronenmikroskopie (REM) und EDX-Analyse durchzuführen. Die nachfolgende Tabelle zeigt einen Überblick der Geräte / Ausrüstung.

VerfahrenAnwendungsbereich
RasterelektronenmikroskopProbenraum für Probenabmessungen: 60 mm x 30 mm
EDX-Anaylsequalitative chemische Analyse von Oberflächen oder Partikeln

Prüfungslexikon

In der nachfolgenden Tabelle finden Sie einige Kurzzeichen für genannte Bezeichnungen.

KurzzeichenBedeutung
REMRasterelektronenmikroskop
EDX-Analyseenergiedispersive Röntgenspektroskopie mittels Rasterelektronenmikroskop

Welchen Nutzen haben Sie durch die Rasterelektronenmikroskopie?

Die Rasterelektronenmikroskopie gibt bei Bruchflächen Aufschluss über die Schadensart bzw. den Bruchcharakter der Bruchfläche und kann damit Hinweise auf den Schadenshergang geben. Durch die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX-Analyse) lässt sich eine Oberflächenbeschichtung identifizieren.


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